保证真空炉的真空度是保障产品加工质量的重要条件,但在实际应用过程中,经常会出现真空炉漏气的现象,严重影响真空炉的加工效果,所以找到漏气位置并进行维修工作是每个使用和维护人员需要具备的技能,那真空炉哪里容易漏气呢?下面为大家整理了检查方法与预防方案,以供大家参考。
一、真空炉容易漏气的位置
1、真空炉炉体外部容易漏气的位置有:炉门密封、主阀阀杆密封、气动球阀阀杆密封、放气阀阀芯密封、防爆阀阀芯密封、预抽阀阀杆密封、热电偶密封、加热电极密封等。
2、真空炉体内壁表面放气。
3、真空炉室夹层(包括炉门夹层)及气体冷却系统的水管漏水。
4、预抽阀的阀体内部漏气,充气组阀中充气阀(高真空气动碟阀)、补气阀、分压组阀(减压阀、微调阀、电磁阀)内部漏气。
二、检查真空炉漏气位置的方法
1、真空炉漏气检查方法
真空炉漏气故障维修的关键,是看能否准确地判断出故障点(漏气位置),检查方法如下:
(1)按照压升率测试方法进行压升率检测后,如果真空炉炉膛内的真空度一直下降,且管路真空度保持不降低,说明真空炉炉膛有漏气点。此时,应该用氦质谱检漏仪对真空炉炉膛可能存在漏气点的位置进行检漏,着重检查加热电极、热电偶安装孔和热电偶本身、气体连接法兰和充气阀门、炉门、压力表和压力传感器连接处、真空规管连接处等与外界有接口的地方;对于真空气淬炉,还应检查热交换器有无泄漏,通常内部循环设备的热交换器在设备的内部,难以检查,可以利用热交换器冷却水管的接口通入氦气的方法检漏。
(2)如果真空管路上的真空度很快下降,且真空室真空度保持较好或者略有提高,则应该对真空管路和真空泵系统进行检漏。
(3)如果真空管路和真空室真空度都一直降低,还应检查真空阀。
2、真空炉漏气检查步骤
(1)检查真空炉观察窗的玻璃视镜是否破裂,若破裂则应予以更换。
(2)检查观察窗上紧固玻璃视镜的内六角螺钉是否松动,若有松动情况,则应予以紧固,但一定要对称均匀紧固,且用力不得过大,以免压碎玻璃。
(3)检查观察窗内外密封圈(白色)是否老化,若老化,则需更换新密封圈。
(4)卸掉真空炉炉体底座上的自动充气装置,用沾汽油的干净抹布除去密封橡皮和充气密封面上的灰渣,重新照原样安装好。
(5)检查真空炉炉体底盘上测压处的密封情况,紧固螺母若有松动予以紧固,若密封圈损坏应更换。
(6)检查阴极部位的密封情况,紧固螺母若有松动予以紧固,若密封圈损坏应更换。
(7)检查真空炉炉体钟罩底部密封法兰面,如有锈迹、凹坑等损伤应及时处理。(注意:每次吊起钟罩后,应放置于橡皮板、木方或其它柔软的支撑物上,以防损伤密封法兰面。)
(8)检查炉体底盘上的大密封圈,如有损坏应及时修理或更换。(注意:每次吊起钟罩后,再次罩上钟罩前,先用干净毛刷将底盘及大密封圈上的灰渣除净,然后用沾汽油的干净抹布擦去密封法兰面及大密封圈上的灰渣,以防灰渣嵌入大密封圈中造成漏气。)
(9)检查真空炉抽气硬弯管各联结法兰面的紧固情况,若有松动,应均匀紧固。若密封圈损坏,应及时更换。
(10)检查真空炉碟阀内密封圈上是否粘有灰渣,若粘有灰渣可能造成蝶阀管不死而漏气。发现存有此种情况,应及时用沾汽油的干净抹布清理干净,然后涂上真空脂。注意:清理蝶阀密封圈时,切忌用汽油浸泡密封圈,否则密封圈涨大,蝶阀将无法开关。
三、预防真空炉漏气的方法
1、检查密封件是否清洁、平整无破损并具有良好的弹性,用酒精和抹布将密封件清理干净并涂抹真空脂。
2、检查密封件是否有破损或弹性不够,如果有,则应该更换密封件。
3、定期对密封圈进行更换即使密封圈完好无损,对于更换阀门等修理需要拆除密封圈时,重新安装时建议安装新密封圈。
4、对连接滑阀泵、罗茨泵和扩散泵的管道密封进行检漏,对前级阀阀杆的密封进行检漏,对防爆装置的密封等处进行检漏,保证上述密封处不漏气。