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氧化亚硅气相沉积炉适用于氧化亚硅等材料大批量生产;温差控制精度高,高温高真空;具备高真空升华,反应,脱脂,脱水,气相沉积材料自动研磨刮料,炉内收集等特殊工艺能力。
产品特点:
一次装料量大, 生产效率高。
全程全封闭全自动化作业,避免粉尘飞扬,生产现场环境整洁干净。
温度控制1500度以内,升温速率快。
可以在真空度下保持稳定运行工作。
产品参数:
产品展示:
真空烧结炉
真空炉
高温渗硅烧结炉
真空提纯炉
氧化亚硅真空升华炉