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广州真空沉积炉

广州真空沉积炉

  • 所属分类:广州沉积炉
  • 浏览次数:
  • 二维码:
  • 发布时间:2022-03-23 11:16:50
  • 产品概述
  • 技术参数

真空气相沉积炉是用于制备碳碳复合材料,沉积炉主要用于石墨、半导体器件、耐热冲刷材料的表面热解炭涂层制备。

应用范围:

石墨、半导体器件、耐热冲刷材料。

1、基本参数:

1)设计温度:1250℃/1650℃/1800℃/2200℃

2)常用温度:900~1200℃

3)真空度:<50Pa

4)压升率:空炉冷态6.67Pa/h(或150Pa/24h)

5)加热方式:石墨电阻加热或感应加热,独立控温,温度均匀性好

6)气氛介质:真空/CH4/C3H6/H2/N2/Ar

7)控气方式:质量流量计控制,多通道工气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

多级高效尾气处理系统,环境友好,易清理;

8)炉型:方形、圆形、立式或卧式结构(非标设计),全封闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

9)炉体冷却方式:炉壳水冷,可选配外循环快冷系统,降温时间短,生产效率高;

2、真空沉积炉炉体结构:

结构形式:卧式-侧出料,立式-上出料/下出料

炉门锁紧方式:手动/自动

炉壳材质:内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡

加热器、马弗材质:石墨/CFC

红外仪:单比色/双比色

电源:KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)

3、产品规格:

产品规格


4、真空沉积炉产品展示:

真空沉积炉


产品规格

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