真空烧结炉常见泄漏点与检漏方法

金属（粉末）烧结工作一般都采用的是真空环境烧结，常用设备为真空烧结炉。虽然这类真空设备的真空技术已经较为成熟，但是受各方面影响，多少都会存在一定的真空度泄漏，下面就介绍真空烧结炉常见的泄漏点与检漏方法。

真空烧结炉的构成部分包括炉体、真空系统、电气系统、冷却系统等，其中炉体和真空系统与真空烧结炉的漏率息息相关。当炉体与真空系统装配完毕后，无论其密封如何可靠，一般来说总是有漏气存在的。为此，采用漏气率（单位时间内通过所有漏孔进入炉腔的气体流量）大小作为真空烧结炉的一个重要性能指标。

真空烧结炉常见泄漏点分析：

一台漏率合格的真空烧结炉，首先需要保证炉体内的高真空，但作为一个系统，与炉体相连的各部分也都必须无泄漏点才能保证真空的保持。因此，在判定设备的漏点时需先从真空系统分析其可能存在的漏点，常见位置包括：

1、机械泵、罗茨泵、扩散泵等真空泵组泄漏；

2、冷凝器内毛细管及毛细管与法兰连接处泄漏；

3、真空管道与弯头连接处及管道之前焊接处泄漏；

4、真空阀门本身及其与管道连接处泄漏。

真空烧结炉以下几点泄漏点的检漏方法：

真空烧结炉检漏的方法很多，根据被检设备所处的状态可分为升压检漏法、气泡检漏法和氦质谱检漏法三种。

1、升压检漏法

升压检漏法是当被检容器内真空度达到100Pa以下时，在怀疑有泄漏的地方涂抹丙酮等易挥发液体，如果有漏孔，丙酮气体就会通过漏孔进入被检容器内部，可从真空监测仪表上显示压力是否突然有明显的升高来判断该设备是否有泄漏，并且判定漏孔的存在、位置。在真空烧结炉检漏中期，即气泡检漏法不能完全找到设备漏点时，采用升压检漏法可进一步检测出设备的漏点，效果良好。

2、气泡检漏法

气泡检漏法是将空气压入被检部件，然后将其浸入水中或对其可疑表面涂上肥皂液，如果被检部件上有漏孔，肥皂液就会鼓起气泡，通过观察气泡可以判断漏孔的存在和位置。这种检漏方法主要用于被检真空炉的连接处采用法兰螺栓连接等可以承受正压的场合，可用于小型真空烧结炉或真空管路的检漏。如果真空炉由于结构复杂、体积较大、结合面较多，通常在检漏初期采用气泡检漏法，该方法经济实用，能取得较好的检漏效果。

3、氦质谱检漏法

氦质谱检漏是一种常见也是Z可靠的真空炉检漏方法，它是利用氦质谱检漏仪的磁偏转原理，对于泄漏气体氦气反应灵敏，从而确定漏点的检漏方式。这种检漏方法充分利用了氦气的强渗透、易流动、易扩散等性能，检漏过程不易受干扰，不会误判，反应快。

在真空烧结炉检测时，首先给管路充气，把检漏仪按照要求接好，检漏仪监测点尽量接在前级真空管路上；其次是考虑检漏点的检漏顺序，一般来说，经常活动的真空部分是优先考虑的，比如真空室门的密封圈等，然后考虑真空系统的静态接触点，如真空规处、真空管路的外接法兰处等，之后是气路系统和水路系统。